柔性薄膜组件和设备生产商Xunlight研制的第二代卷对卷薄膜硅太阳能电池生产设备近日获得美国专利。该公司的工具套件将四个卷对卷流程融合到一个单一的真空机器中，即底层清洁、后反射器沉积、PECVD薄膜硅沉积以及ITO溅射沉积。

名为“隔离室以及使用隔离室生产太阳能电池材料的方法”的该专利于5月8日由USPTO颁发，从而使该公司得以进一步挖掘其专有技术。

该工具是一种在36英寸宽、8000英尺长的5mm厚不锈钢底层上生产低成本柔性多结薄膜硅太阳能电池的单一机器。

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